玖方新材公布“一种防崩边硅片镀膜承载框”专利

fyradio.com.cn 4 2026-02-07 19:24:02

天眼查APP显示,近日,南通玖方新材料股份有限公司申请的“一种防崩边硅片镀膜承载框”专利公布。 摘要显示,本发明公开了一种防崩边硅片镀膜承载框,包括承片台(1),所述承片台(1)在内部侧壁加工有挡片台阶(3),所述承片台(1)设置有若干个配备避空位的顶点,所述避空位与挡片台阶(3)之间通过防积膜区进行过渡,所述承片台(1)在长度方向和宽度方向排布有若干个托台,本发明通过在挡片台阶与避空位之间设置防积膜区过渡的方式,防止ITO膜在承片台倒角处堆积,保证硅片在镀膜过程中的角落处不会发生崩边,减少了硅片与托台接触位置的应力,大大降低硅片边部的崩边概率,从而确保了产品质量,提高了生产效率。
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